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J-GLOBAL ID：200903093953207552

電子線源およびこれを用いた電子線応用装置

Inventor： 大嶋 卓 ,  黒田 勝広 ,  品田 博之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088179
Publication number (International publication number)：1995296755
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 基板上に形成した複数の電子放出源から、一つの電子放出源を高精度に選択可能にする。【構成】 基板10上に形成した複数の電子放出源19と、電子放出源の一つに向かって凸型に形成された先端部と電子線を通過させる開口部を有する引出電極11と、電子放出源の一つと引出電極に局部的に電界を印加する電界印加手段と、基板と引出電極とを相対的に移動させる移動手段からなる構造とする。【効果】 複数の電子放出源から一つの電子放出源を高精度に選択できるので、一つの電子線のみで動作させるSEMや電子線描画装置などの電子線応用装置に複数の電子放出源を使用できるという効果がある。さらに、寿命の短い電子放出源でも、長寿命電子線源として使用できるという効果がある。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された複数の電子放出源と、上記電子放出源の一つに向かって凸型に形成された先端部を有し、かつ電子線を通過させる開口部を有する引出電極と、上記電子放出源が形成された基板と上記引出電極との間で相対位置を移動させる移動手段とからなることを特徴とする電子線源。

IPC (3)：

H01J 37/073 ,  H01J 1/30 ,  H01J 37/305