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J-GLOBAL ID：200903093953258033

ロールコート用放射線感応性組成物

Inventor： 薄田 謙二
Applicant, Patent owner： クラリアント インターナショナル リミテッド
Agent (1)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996347577
Publication number (International publication number)：1998186637
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】ロールコート法により基板上に塗布した際に塗布ムラの発生しにくいロールコート用放射線感応性組成物を提供する。【解決手段】放射線感応性組成物の溶剤として、沸点が170〜250°Cで、25°Cでの動粘度が2cSt以上、酢酸-n-ブチルエステルの蒸発速度を100とした場合の相対蒸発速度が10以下であるプロピレングリコール系アルキルエーテルを少なくとも1種とそれ以外の溶剤からなる混合溶剤を用いる。前記プロピレングリコール系アルキルエーテルとしては、例えばプロピレングリコールフェニルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコール-n-ブチルエーテルなど、またその他の溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、などがあげられる。

Claim (excerpt)：

放射線感応性組成物の溶媒として、沸点が170〜250°Cで、25°Cでの動粘度が2cSt以上、酢酸-n-ブチルエステルの蒸発速度を100とした場合の相対蒸発速度が10以下であるプロピレングリコール系アルキルエーテルの少なくとも1種とその他の溶剤からなる混合溶剤を用いることを特徴とする、塗布性の改善されたロールコート用放射線感応性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 ,  B05D 1/28 ,  B05D 7/24 301 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 501 ,  B05D 1/28 ,  B05D 7/24 301 T ,  H01L 21/30 502 R