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J-GLOBAL ID：200903093957239017

計測装置

Inventor： 星山 浩樹
Applicant, Patent owner： ジャパン・イー・エム株式会社
Agent (1)： 平田 忠雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994136596
Publication number (International publication number)：1995318311
Application date： May. 26, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、計測精度を向上させることを目的とする。【構成】 本発明の計測装置は、1次元、或いは2次元の運動を行うテーブル1と、テーブル1上に載置される被計測物2と、面上に座標,寸法,角度等の測定単位のマーカ4Aを有し、テーブル1との間に相対的変位を生じずにテーブル1と共通の運動を行うと共に、光,磁気等の測定媒体を通過させるマーカ板4と、運動を行うテーブル1上の被計測物の任意の点と共通の運動を行うマーカ板4のマーカ4Aの任意の点に対応する値を測定媒体によって読み取る読取手段3より構成されている。

Claim (excerpt)：

1次元、或いは2次元の運動を行うテーブルと、前記テーブル上に載置される被計測物と、面上に座標,寸法,角度等の測定単位のマーカを有し、前記テーブルとの間に相対的変位を生じずに前記テーブルと共通の運動を行うと共に、光,磁気等の測定媒体を通過させるマーカ板と、前記運動を行う前記テーブル上の前記被計測物の任意の点と前記共通の運動を行う前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記測定媒体によって読み取る読取手段とから構成されることを特徴とする計測装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭55-071902
  
• 特開昭55-071902