反射防止膜とその製法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：押田良輝 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998538034
Publication number (International publication number)：2001517319
Application date： Jan. 14, 1998
Publication date： Oct. 02, 2001
Summary：

【要約】ここで述べられていることは、少くとも一方の表面側で、該表面に入射する輻射線の波長に関し反射防止特性を示す光学的な透明は材料からなる基材層からなる反射防止膜である。本発明は反射防止表面側が推計学的に分布される構造体(いわゆるマクロ構造体)で表面粗面を示し、またマクロ構造体が、いわゆるミクロ構造体である周期的シーケンスを示す表面構造を付加的に変調される装置による、それだけでも卓越している。

Claim (excerpt)：

少くとも一方の表面側で、該表面に入射する輻射線の波長に関する反射防止特性を示す光学的に透明な材料からなる基材層からなる反射防止膜において、前記反射防止面側が推計学的分布構造体(いわゆるマクロ構造体)をもつ表面粗面を備え、該マクロ構造体が周期的シーケンスされた表面組織(いわゆるミクロ構造体)で付加的に変調させられ、前記反射防止面に入射する輻射線の波長より小さいサイクル長さもしくは周期的な長さをもつことを特徴とする反射防止膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭49-011904
特開昭49-011904
特開平3-084532

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