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J-GLOBAL ID：200903093972485326

ガルバノミラーの偏向角検出装置

Inventor： 西川 博 ,  中西 良一
Applicant, Patent owner： 旭光学工業株式会社
Agent (1)： 松岡 修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997327023
Publication number (International publication number)：1999144273
Application date： Nov. 12, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高精度に偏向ミラーの偏向角を検出することができる偏向角検出装置を提供すること。【解決手段】 電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた可動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノミラーにおいて、前記偏向ミラーに角度検出光を入射させてその反射光を入射角度に応じて反射率が変化する反射面で反射させ、その反射面で反射した反射光の光量を光検出器で検出し、この光検出器の出力により前記偏向ミラーの偏向角を検出する構成とした。

Claim (excerpt)：

電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた可動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノミラーにおいて、前記偏向ミラーに角度検出光を入射させてその反射光を入射角度に応じて反射率が変化する反射面で反射させ、その反射面で反射した反射光の光量を光検出器で検出し、この光検出器の出力により前記偏向ミラーの偏向角を検出するようにしたことを特徴とするガルバノミラーの偏向角検出装置。