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J-GLOBAL ID：200903093981720737

スパッタ装置

Inventor： 鈴木 清且
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994206916
Publication number (International publication number)：1996074048
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】 陰極スパッタ装置における真空室の真空度を所望の値に上げることができるように、気密絶縁用のフランジを改良する。【構成】 溶射金属材料のターゲット1を装着し且つ直流電源6の負極に回路接続された陰極部2と、試料4を載置し且つ直流電源6の正極に回路接続された陽極部5とを具備し、前記陰極部及び陽極部のいずれか一方を他方に対して着脱可能に構成すると共に、これらの間の周囲を絶縁して、ターゲット1と試料4とが所定間隔をおいて対向配置される、排気可能な真空室11を規定するようにした陰極スパッタ装置において、前記陰極部2及び陽極部5間の絶縁部は、比較的薄い厚さのリング状の絶縁フランジ13と、絶縁フランジの内周縁部に嵌合する切り込み12aが、外側から中央部にかけて設けられた、合成ゴムからなるOリング12とで構成される。

Claim (excerpt)：

溶射金属材料のターゲット(1)を装着し且つ第1の電源に回路接続された第1の電極部(2)と、試料(4)を載置し且つ第2の電源に回路接続された第2の電極部(5)とを具備し、前記第1、第2の電極部のいずれか一方を他方に対して着脱可能に構成すると共に、これらの間の周囲を絶縁して、ターゲット(1)と試料(4)とが所定間隔をおいて対向配置される、排気可能な真空室(11)を規定するようにしたスパッタ装置において、前記第1、第2の電極部間の絶縁部は、リング状の絶縁フランジ(13)と、絶縁フランジの内周縁に嵌合する切り込み(12a)が、外側から中央部にかけて設けられた、ゴム製のOリング(12)とで構成されていることを特徴とする陰極スパッタ装置。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203