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J-GLOBAL ID：200903094004004680

凸型パターンを有するスタンパーの製造方法

Inventor： 山口 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993092993
Publication number (International publication number)：1994302018
Application date： Apr. 20, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高精度の凸型パターン(本発明では、エッチングされる領域の幅がエッチングされない領域の幅よりも大きな形状を示す)を形成する。【構成】 第1基板(1)表面にレジスト(2)を塗布する工程(第1工程)、レジスト(2)を所定パターンに露光する工程(第2工程)、現像することで所定パターンにパターニングし、レジスト原盤を製造する工程(第3工程)、パターニングされたレジスト(2)を保護層としてエッチングを行う工程(第4工程)、エッチングされた半製品に残存したレジストを除去する工程(第5工程)からなる凸型パターンを有するスタンパーの製造工程において、レジストにアルカリ性ネガ型フォトレジストを、現像液にアルカリ性の現像液を用いて凸型パターンを有するスタンパーを製造する。

Claim (excerpt)：

第1工程:第1基板表面にレジストを塗布する工程;第2工程:前記レジストに対して所定パターンを露光する工程;第3工程:前記レジストを現像することにより所定パターンにパターニングし、レジスト原盤を製造する工程;第4工程:パターニングされた前記レジストを保護層としてエッチングを行う工程;第5工程:エッチングされた半製品に残存した前記レジストを除去する工程;からなる凸型パターンを有するスタンパーの製造工程において、前記レジストがアルカリ可溶性ネガ型フォトレジストであり、現像に用いる現像液がアルカリ性の現像液であることを特徴とする凸型パターンを有するスタンパーの製造方法。