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J-GLOBAL ID：200903094009915320

感放射線組成物およびパタン形成方法

Inventor： 横山 義之 ,  服部 孝司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999356969
Publication number (International publication number)：2001174993
Application date： Dec. 16, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】遠紫外光領域で透明、かつドライエッチング耐性も高い化学構造を持ち、水性アルカリ現像液で膨潤することなく微細パタンを現像できるネガ型感放射線組成物を提供する。【解決手段】化学式(1)で示される繰り返し単位を有する重合体と、酸発生剤とを含有する(ここで、R<SP>1</SP>,R<SP>2</SP>は水素原子またはメチル基、x,yはそれぞれx+y=1,0<x≦1,0≦y<1を満たす任意の数、重合体の重量平均分子量は1,000〜500,000である)。【化1】

Claim (excerpt)：

少なくとも化学式(1)で示される繰り返し単位を有する重合体と、酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線組成物。【化1】ただし、上記化学式(1)において、R<SP>1</SP>,R<SP>2</SP>は水素原子またはメチル基であり、x,yはそれぞれx+y=1,0<x≦1,0≦y<1を満たす任意の数であり、重合体の重量平均分子量は1,000〜500,000とする。

IPC (4)：

G03F 7/038 505 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 502

FI (4)：

G03F 7/038 505 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/027 502

F-Term (21)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BF02 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BG071 ,  4J002EV236 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002FD200 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05