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J-GLOBAL ID：200903094025069803

大気圧プラズマ照射装置用の新規な電極及びその使用方法

Inventor： クロエ,リチャード ,  バブコ-マリイ,サージェイ ,  コヴァチ,カート ,  トロッパー,セス
Applicant, Patent owner： プラズマゾル・コーポレイション
Agent (2)： 酒井 一 ,  蔵合 正博
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003511270
Publication number (International publication number)：2004535041
Application date： Jul. 01, 2002
Publication date： Nov. 18, 2004
Summary：

第一電極と第二電極とを含むプラズマ照射装置及びその使用方法。第二電極は多孔質である、つまりプラズマ放電が通過できるように形成されている。従って、プラズマを第二電極の片側で受け、それを反対側のプラズマ射出面から照射するようになっている。第二電極は、プラズマ放電を通過させることができればよく、様々な形態とすることができる。例えば第二電極を、多層の絶縁材料層間に少なくとも一層の導電層を挟持した積層体とすることもできる。この積層体には複数の孔を貫設し、この孔に誘電体スリーブを挿入固定する。発生したプラズマは各誘電体スリーブに設けた一つ以上の穴を通過する。別の態様として、第二電極を、互いに実質的に平行に枠に渡して並べた複数の単方向高圧線や、互いに織り合わせ、外周枠によって固定した複数の二方向高圧線として構成することもできる。プラズマが第二電極を通過するので、プラズマ反応器装置を処理対象物の被処理面に隣接若しくは直接接触して配置することができる。

Claim (excerpt)：

第一誘電体と、 該第一誘電体に隣接配置された第一電位の第一電極と、 プラズマ放電を生じ得るように該第一電位とは異なる第二電位である第二電極とを備え、プラズマ放電が該第二電極を通過することができる、プラズマ照射装置。

IPC (2)：

H05H1/24 ,  B01J19/08

FI (2)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E

F-Term (15)：

4G075AA22 ,  4G075AA30 ,  4G075BA10 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA15 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4G075EE15 ,  4G075FA03 ,  4G075FA12 ,  4G075FC15