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J-GLOBAL ID：200903094027239730

粒子ビーム及び光を用いる顕微鏡で試料を観察する装置

Inventor：
アレクサンドラ ファレリフナ アフロンスカヤ

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ハンス カスパー ヘリットセン

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アドリアニュス ヨハネス フェルケライ

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アブラハム ヨハネス コスター

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Applicant, Patent owner：
エフ イー アイ カンパニ

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Agent (3)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008023533
Publication number (International publication number)：2008192616
Application date： Feb. 04, 2008
Publication date： Aug. 21, 2008
Summary：
【課題】 本発明は、TEM鏡筒及び高分解能走査型光学顕微鏡(10)を用いて試料(1)を観察する装置に関する。【解決手段】 TEM鏡筒で試料を観察するときの試料位置は、光学顕微鏡で試料を観察するときの位置と異なる。後者の場合、試料は、光学顕微鏡の方向を向くように傾けられる。好適には単色光で走査型光学顕微鏡を用いることによって、試料位置を向いている光学顕微鏡のレンズ素子(11)は、(磁気)粒子光学対物レンズ(7)の磁極面8Aと磁極面8Bの間に位置できるほど十分に小さくすることができる。このことは、光学顕微鏡で従来用いられてきた、大きな直径を示す対物レンズ系とは対照的である。さらに光学顕微鏡又は少なくとも試料に近接する部品(11)は、TEMモードでの画像化を行うときには、空間を解放するように引っ込めることができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
粒子ビームを用いて薄い試料を画像化し、かつ光によって前記試料を画像化する粒子光学装置であって、 当該装置は: 粒子の光軸に沿った粒子ビームを発生させる粒子源; 前記粒子ビームを操作する粒子光学レンズであって、前記粒子の光軸の周りに備えられた粒子光学レンズ; 前記粒子の光軸上で、かつ所謂粒子光学対物レンズと呼ばれる前記粒子光学レンズの1の磁極面間に前記試料を位置設定する試料マニピュレータであって、前記粒子の光軸に対して前記試料を傾ける能力を有する試料マニピュレータ; 前記試料を透過する粒子を検出する検出器;及び 光学顕微鏡; を有し、 前記光学顕微鏡は、前記試料を画像化するように備えられていて、その際前記試料は、ほぼ前記粒子の光軸上に設けられ、かつ前記試料が前記光学顕微鏡を向くように傾いている、 前記光学顕微鏡は、所謂走査型光学顕微鏡と呼ばれる、集光ユニットによって生成される光の点で前記試料を照射するように備えられていて、前記光学顕微鏡は、前記試料全体にわたって前記光の点を走査するように備えられていて、かつ 少なくとも前記集光ユニットは、前記試料が前記粒子ビームを用いて画像化されるときには、前記磁極片間の空間を解放するように、引っ込めることが可能な状態で設けられている、 ことを特徴とする装置。
IPC (3)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/20 ,  G02B 21/00
FI (4)：
H01J37/26 ,  H01J37/20 E ,  H01J37/20 A ,  G02B21/00
F-Term (10)：
2H052AA07 ,  2H052AC05 ,  2H052AF10 ,  2H052AF19 ,  5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001BB02 ,  5C001CC03 ,  5C033SS02 ,  5C033SS10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (10)
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Cited by examiner (9)
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