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J-GLOBAL ID：200903094037334014

光アドレス式感知システム

Inventor： ラルフ-ディーター・ペヒシュテット ,  ジェイムズ・スチュアート・マッケンジー ,  イーチェン・ルー ,  ジェイムズ・デアス
Applicant, Patent owner： ブッカム・テクノロジー・ピーエルシー
Agent (1)： 志賀 正武 (外7名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000549911
Publication number (International publication number)：2002515595
Application date： May. 20, 1999
Publication date： May. 28, 2002
Summary：

【要約】光アドレス式感知システムであって、広帯域光源(1)のコヒーレンス長Icより大きな光路差OPDsを設定し、ファブリ-ペロー干渉計(4)を用いて、(とりわけ)マイクロ加工されたダイアフラム(12)によって形成された空洞を介して測定量を感知するものを記載した。出力は同様な光路差OPDpを用いてさらなる干渉計を介して回復する。情報は、減衰、損失、源の変動等による誤差を回避して、波長領域で符号化する。大量生産に適した空洞に対する適切な基板構成を開示している。

Claim (excerpt)：

コヒーレンス長lcを有する少なくとも一つの広帯域光源と、光路差OPDsを有する第1及び第2の光路を備えた感知干渉計とを備えた感知システムであって、 第2の光路は感知干渉計の近傍においてパラメータに依存して変化しやすいものであって、かつ、感知干渉計が光源と光路差OPDpを有する第3及び第4の光路を備えた処理干渉計とに光学的に結合されている感知システムにおいて、 感知干渉計が、凹みが第1の基板の少なくとも一側にエッチングされているか又はマイクロ加工されている第1の基板から形成されたダイアフラムを備え、それによって、光路差OPDsは凹みの深さによって実質的に決定され、 処理干渉計がOPDpを規定するために作られた第2の基板上に集積され、 OPDs及びOPDpのいずれもがlcより大きく、かつ、OPDsとOPDpとの差の絶対値がlcより小さい、ことを特徴とする感知システム。

IPC (3)：

G01L 9/00 ,  G01D 5/26 ,  G01K 11/12

FI (3)：

G01L 9/00 B ,  G01D 5/26 D ,  G01K 11/12 H

F-Term (23)：

2F055AA21 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE31 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG49 ,  2F055HH19 ,  2F056VF09 ,  2F056VF11 ,  2F056VF15 ,  2F056VF16 ,  2F056VF20 ,  2F103BA00 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103EB06 ,  2F103EB32 ,  2F103EC08 ,  2F103EC10 ,  2F103EC17 ,  2F103FA01