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J-GLOBAL ID：200903094043049305
パルス引出型の電子サイクロトロン共振イオン源
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
有近 紳志郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992291268
Publication number (International publication number)：1994140196
Application date： Oct. 29, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】 イオンを効率よく取り出す。【構成】 パルス状引出電圧供給用高圧電源25からパルス状の引出電圧を引出電極5に供給し、イオン導出用電界を断続的に形成する。イオン導出用電界を形成しない期間では、プラズマチャンバ4内でイオンを生成し、そのイオンを導出せずに高濃度にする。イオン導出用電界を形成する期間では、前記高濃度にしたイオンを一気に外部に導出する。【効果】 無駄なイオンの導出をなくすと共にイオン電流を大きくすることが出来る。そこで、間欠的に大きなイオン電流を必要とする用途に好適である。
Claim (excerpt)：
永久磁石とソレノイドコイルとにより電子サイクロトロン共振条件を満たす磁場をプラズマチャンバ内に形成し,そのプラズマチャンバ内で生成されたイオンを引出電極により外部へ導出する電子サイクロトロン共振イオン源において、引出電極にパルス状の引出電圧を供給するパルス状引出電圧供給手段を具備し、プラズマチャンバ内で生成されたイオンを断続的に導出することを特徴とするパルス引出型の電子サイクロトロン共振イオン源。
IPC (3)：
H05H 13/04
, H01J 27/18
, H05H 7/10
