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J-GLOBAL ID：200903094062967552

静電容量式加速度センサ

Inventor： 芦野 仁泰
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995042660
Publication number (International publication number)：1996240609
Application date： Mar. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】弾性体の中央部の可動電極の裏面に結合された重錘体に加わる加速度を可動電極と対向する固定基板上の固定電極との間の静電容量で検出する加速度センサの感度を、外形寸法を大きくしないで高くする。【構成】弾性体を可動電極と固定される外周部との間で複数の梁にすることにより、加速度によって弾性体に発生する応力を梁部に集中させ、大きくたわませて可動電極の変位を大きくし、感度を上げる。

Claim (excerpt)：

固定基板上に設けられた固定電極と、外周部が固定基板と所定の間隔を保って固定され、中央部の裏面側に重錘体が結合された弾性体の重錘体と反対側の表面に設けられた可動電極とが、誘電体を挟んで対向してなるコンデンサの静電容量値から、重錘体に加わる固定基板面に垂直方向の加速度を検出する静電容量式加速度センサにおいて、弾性体が可動電極と固定される外周部との間では等間隔で分散配置された複数の梁として形成されたことを特徴とする静電容量式加速度センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-156241   Applicant：株式会社村田製作所
• 特開平3-094168
  
• 加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-189548   Applicant：山武ハネウエル株式会社