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J-GLOBAL ID：200903094075265719

反射防止膜

Inventor： 入江 則行 ,  鈴木 操 ,  平山 義一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994035625
Publication number (International publication number)：1995244217
Application date： Mar. 07, 1994
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】反射防止帯域が広く、膜厚比の小さいレンズにも適用でき、更に、製造バラツキの影響を受けにくい反射防止膜を提供する。【構成】基板側から数えて第1層目、第3層目、及び第5層目を低屈折率層で構成し、第2層目と第4層目は中間屈折率層で構成した5層構造の反射防止膜とし、かつ、設計中心波長λ0 に対する第1層目から第3層目の光学的膜厚をそれぞれ、0.40λ0 ≦n1d1≦0.50λ0 の範囲とする。

Claim (excerpt)：

波長180nm 〜300nm の波長範囲内に設計中心波長λ0 を持つ反射防止膜において、該反射防止膜は5層構造を有し、基板側から数えて第1層目、第3層目、及び第5層目を低屈折率層で構成し、第2層目と第4層目は中間屈折率層で構成し、かつ、前記設計中心波長λ0 に対する第1層目から第3層目の光学的膜厚がそれぞれ、0.40λ0 ≦n1d1≦0.50λ0 の範囲であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (2)：

G02B 5/28 ,  G02B 1/11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 2波長反射防止膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-337945   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開昭63-113502