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J-GLOBAL ID：200903094081476284

屈折率の異なるコアを有する結合導波路及びその製造方法

Inventor：
井本 克之

About 井本 克之


Applicant, Patent owner：
日立電線株式会社

About 日立電線株式会社


Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000118526
Publication number (International publication number)：2001296441
Application date： Apr. 14, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 製造工数が少なく、所望形状を実現できる屈折率の異なるコアを有する結合導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 バッファ層2上に形成されたフォトブリーチング用ポリマ層9に透過率の異なるコアパターンの形成されたフォトマスク11を介して紫外線光10を照射することにより、屈折率の異なるコア層3-1、3-2と、側面クラッド層4とが同時に形成されるので、エッチング工程等の製造工数が減少でき、コア層を所望の形状に形成することができる。
Claim (excerpt)：
基板表面に屈折率nb の低屈折率層を有し、その低屈折率層上にフォトブリーチング用ポリマ層を有し、そのポリマ層は紫外線光が十分に照射されて低屈折率ns になった側面クラッド層と紫外線光の照射量が制御され屈折率が屈折率ns よりも高く、かつ屈折率が異なる少なくとも二つのコア層とからなり、上記ポリマ層上にコア層の屈折率よりも低い屈折率nc のクラッド層を有し、そのクラッド層の上に紫外線光遮蔽層を有することを特徴とする屈折率の異なるコアを有する結合導波路。
IPC (3)：
G02B 6/122 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/12
FI (3)：
G02B 6/12 D ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N
F-Term (8)：
2H047KA04 ,  2H047KB03 ,  2H047PA01 ,  2H047PA17 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA41
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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