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J-GLOBAL ID：200903094091188538

3次元計測装置及び3次元計測方法

Inventor：
藤原 久利

About 藤原 久利


Applicant, Patent owner：
株式会社山武

About 株式会社山武


Agent (7)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003157177
Publication number (International publication number)：2004361142
Application date： Jun. 02, 2003
Publication date： Dec. 24, 2004
Summary：
【課題】3次元計測で、微細な構造の被計測物体の測定を可能とし、且つ高さ方向に距離が大きい被計測物体でも正確な計測を行うことが可能とする3次元計測装置を提供する。【解決手段】Y軸方向に延びるスリットを一定のピッチでX-Y平面に配列した格子30と、被計測物体50に対して、格子30の面をZ軸方向に移動させる格子位置制御部4と、それぞれ互いに空間周波数の異なる2種類の正弦波で示される、被計測物体50の2種類のモアレ縞を同時に形成するように格子30に平行光を照射する照射系(1a,1b)と、格子30を介して2種類のモアレ縞を取り込む第1及び第2受光部2a,2bと、2種類の正弦波を加算し合成波を形成し、この合成波の包絡線の振幅の変化から、被計測物体50のZ軸方向に測った高さを算出する画像処理部60とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
Y軸方向に延びるスリットを一定のピッチでX-Y平面に配列した格子と、 被計測物体に対して、前記X-Y平面からなる格子の面を前記X-Y平面に直交するZ軸方向に移動させる格子位置制御部と、 それぞれ互いに空間周波数の異なる2種類の正弦波で示される、前記被計測物体の2種類のモアレ縞を同時に形成するように前記格子に平行光を照射する照射系と、 前記格子を介して前記2種類のモアレ縞を取り込む第1及び第2受光部と、 前記第1及び第2受光部から得られた2種類の正弦波を加算し合成波を形成し、該合成波の包絡線の振幅の変化から、前記被計測物体のZ軸方向に測った高さを算出する画像処理部 とを備えることを特徴とする3次元計測装置。
IPC (1)：
G01B11/25
FI (1)：
G01B11/24 E
F-Term (17)：
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF08 ,  2F065FF51 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL59 ,  2F065QQ16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 表面形状測定方法及び表面形状測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-232470   Applicant：株式会社リコー
  • 表面形状測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-229907   Applicant：株式会社山武, 吉澤徹
  • 表面形状測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-123843   Applicant：山武ハネウエル株式会社, 吉澤徹
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