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J-GLOBAL ID：200903094094358248

レーザ加工装置とその集光レンズ高さ制御方法

Inventor： 杉山 勤
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992055178
Publication number (International publication number)：1993253686
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被加工物に集光して照射されるレ-ザ光の焦点位置の設定を加工速度が最大になる条件に設定し、かつ連続的な加工の継続により変化する条件に対し、加工の一サイクルごとに焦点位置を確認して補正することで加工品質の安定化を図るレ-ザ加工装置の提供を目的とする。【構成】 加工の一サイクルごとに加工用補助ガスから切り替えた不活性ガスを流しながら集光したレ-ザ光を被加工物に照射し、被加工物表面で生じる青色発光を加工ト-チに配置した光センサで確認しながらレンズ高さを補正する方法において、青色発光範囲のうち焦点位置より遠い端部近辺の適正範囲に被加工物表面からの集光レンズの高さを補正した上で加工を開始することにより加工品質を安定化させたものである。

Claim (excerpt)：

少なくともレ-ザ発振器とレ-ザ光ガイドと折り曲げ鏡と集光レンズとその集光レンズを保持するレンズガイドと補助ガスを吹き付ける加工ト-チと補助ガス源と被加工物を保持して移動する加工テ-ブル、および前記加工テ-ブルとレ-ザ発振器を制御する数値制御装置より構成されるレ-ザ加工装置において、前記補助ガス源に加工用補助ガスと窒素ガスを含む不活性ガスの容器を納め、前記加工ト-チと補助ガス源の間に切替弁を入れ、前記加工ト-チの側面に光センサを設けた構成とし、前記不活性ガスを被加工物に吹き付けながらレ-ザ光を照射して被加工物表面でプラズマ化したガスによる青色の発光を検出し、青色発光の検出されるレンズ高さの青色発光範囲の中でレンズ焦点より遠方端の上下の前記青色発光範囲長さの約1/5の範囲内に被加工物の表面を設定する機能を付与したことを特徴とするレ-ザ加工装置。

IPC (5)：

B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/14 ,  G05B 19/18 ,  G01J 1/42