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J-GLOBAL ID：200903094094867533
電子顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998274602
Publication number (International publication number)：2000106124
Application date： Sep. 29, 1998
Publication date： Apr. 11, 2000
Summary：
【要約】【課題】試料のX線マッピング像を観察するのに適した電子顕微鏡を提供する。【解決手段】X線マッピング時に、測定倍率に応じた電子線プローブ径となるよう集束レンズの電流値を、前もって倍率に応じて少なくとも2個以上設定,記憶することを特徴とする電子顕微鏡。
Claim (excerpt)：
電子銃と、該電子銃から発生した電子線を試料上に集束するための少なくとも1個以上の集束レンズと、該集束レンズ部に入射する電子線を制限する集束絞りと、該試料に入射する該電子線を走査する走査コイルと、該試料を透過した電子線を検出する走査透過電子検出器と、該電子線の該試料への入射により発生したX線を検出するX線検出器と、該X線検出器により検出されたX線を分析する分析部とを具備した電子顕微鏡において、少なくとも1個以上の該集束レンズの電流値を、前もって倍率に応じて少なくとも2個以上設定,記憶し、またはグループ化された倍率範囲の少なくとも2個以上の範囲で設定,記憶し、選択された任意の倍率に対応して出力するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 37/252 A
, H01J 37/28 C
