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J-GLOBAL ID：200903094130153909

光学素子、光学素子の作成方法、情報記録再生装置および走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 村西 勝 ,  保坂 純男 ,  菊川 敦 ,  佐藤 和恭 ,  伊藤 顕知 ,  新谷 俊通
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997010916
Publication number (International publication number)：1998206660
Application date： Jan. 24, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】光の波長よりも小さい領域に選択的に光を照射する光学素子として、先鋭化した光ファイバの先端に開口を設けた形態のものがある。従来の開口作成方法では開口の大きさの制御が困難であった。【解決手段】先端部を先鋭化した光ファイバを金属膜で被覆して、収束イオンビーム等の粒子ビームで被覆及び先鋭化した部分の一部を切除して開口を作成する。【効果】本発明によれば、特に光の波長よりも小さい領域について、その領域に選択的に光を照射したり、その領域から選択的に光を取り出す光学素子を、その領域の大きさを制御した状態で作成する事ができる。また、光の波長よりも小さいパターンを光学的に読み取る光学素子において、信号光量の大きい光学素子を実現する事ができる。

Claim (excerpt)：

コア部分を所定の角度でクラッド部から鋭角に突出させ、これらを遮光膜で覆い、前記突出させたコアの一部を露出させた光学素子において、、前記コアの露出している部分の表面と、前記遮光膜の表面とが、略同一平面に形成されていることを特徴とする光学素子。

IPC (4)：

G02B 6/10 ,  G01B 11/30 ,  G01N 37/00 ,  G11B 7/135

FI (4)：

G02B 6/10 D ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 37/00 E ,  G11B 7/135 A