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J-GLOBAL ID：200903094140626538

脱離ガス分析装置及びその分析方法

Inventor： 田中 一宏
Applicant, Patent owner： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001187497
Publication number (International publication number)：2002372483
Application date： Jun. 21, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 従来の脱離ガス分析装置では、分析後、次の分析を室温程度から開始するためには、試料ステージ106上の温度が室温程度に自然冷却されるのを待っていた。試料ステージ106が自然冷却されるまでは時間がかかり、複数の試料を用いて連続的に分析を行う場合には試料の取り入れ、取り出しを含めた分析に費やす時間がかかった。また、石英製の試料ステージ106では、急激な温度変化を与えると熱ストレスがかかることがあるため、分析に費やす時間がかかる要因のひとつとなっていた。【解決手段】 本発明は、昇温脱離ガス分析において、真空のチャンバー101内で試料ステージ106に温度制御機構を接触させることにより、試料ステージ106に熱的ストレスを加えることなく短時間で試料の取替えを行い、分析に費やす時間を短縮させることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

チャンバーと、前記チャンバー内に設けられた分析計と、前記チャンバー内に設けられた試料ステージと、前記試料ステージを介して試料ステージ上に載置された試料を加熱させる加熱装置と、前記チャンバー内外に前記試料を移送するロードロックアームと、前記ロードロックアーム上及び前記試料ステージ上間で前記試料を移送させる搬送アームと、前記搬送アームに設けられ、前期試料ステージ上に接触することができる温度制御機構とを具備したことを特徴とする脱離ガス分析装置。

IPC (5)：

G01N 1/22 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28 ,  G01N 25/14 ,  G01N 27/62

FI (6)：

G01N 1/22 T ,  G01N 1/00 101 A ,  G01N 25/14 A ,  G01N 27/62 F ,  G01N 27/62 L ,  G01N 1/28 K

F-Term (28)：

2G040AA02 ,  2G040AB11 ,  2G040BA25 ,  2G040BB01 ,  2G040BB04 ,  2G040CB03 ,  2G040CB09 ,  2G040CB14 ,  2G040DA03 ,  2G040DA12 ,  2G040EA05 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040FA01 ,  2G052AD12 ,  2G052AD33 ,  2G052AD42 ,  2G052CA04 ,  2G052CA05 ,  2G052CA46 ,  2G052DA25 ,  2G052DA33 ,  2G052EB01 ,  2G052EB11 ,  2G052GA24 ,  2G052HC03 ,  2G052HC22 ,  2G052HC28