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J-GLOBAL ID：200903094151291295

リード高さ測定方法および装置

Inventor： 前田 武彦
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992102596
Publication number (International publication number)：1994042930
Application date： Apr. 22, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】半導体素子のリードを測定するための移動にかかるむだ時間を省く。【構成】レーザ光源1から射出されたレーザ光2は、ポリゴンミラー3により一方向に走査され、投光レンズ4によりレーザ光は収束され平行に走査される。そのレーザ光2aは、投光レンス4と半導体素子11の一端のリード12の間に位置する透明な平行平板5で、光路を平行移動される。平行平板5の回転角度を回転機構6により副走査コントローラ16で制御する。透明な平行平板5を透過したレーザ光2bがリード12で反射して得られたレーザ光2cをシリンドルカルレンズ7とシリンドリカルレンズ8で一次元センサ9に集光する。一次元センサ9からの出力信号と副走査コントローラ16からの出力信号から高さ補正回路17で高さ信号を演算する。そのため、従来のリード高さ測定装置における半導体素子の対辺のリードを測定するための移動にかかるむだ時間を省くことができ、測定時間を短縮できる。また、構成もコンパクトになるので、装置全体を小型化できる。

Claim (excerpt)：

リーザ光源からレーザ光を出射し、前記レーザ光をミラーにより一方向に走査し、前記走査されたレーザ光を投光レンズで集光すると同時に平行にした後にレーザ光の走査平面内でレーザ光と直行する回転軸まわりに回転する透明な平行平板を投下させて半導体素子のリードに斜角より照射し、前記リードからの反射光を複数のシリンドリカルレンズと一次元センサからなる受光光学系で受光し、前記一次元センサの出力信号と前記平行平板の回転角度を制御する副走査コントローラの出力信号から各リードの高さを演算するころを特徴とするリード高さ測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  H01L 21/66 ,  H01L 23/50