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J-GLOBAL ID：200903094179834707

走査型近視野顕微鏡

Inventor：
千葉 徳男

About 千葉 徳男

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村松 宏

About 村松 宏

, 
山本 典孝

About 山本 典孝


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999054609
Publication number (International publication number)：2000199736
Application date： Mar. 02, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：
【要約】【課題】 試料表面の形状像及び2次元的な光学特性像に加えて、試料表面の電位分布を高分解能で観察可能な走査型近視野顕微鏡を提供する。【解決手段】 光伝搬体プローブ1をその共振周波数で振動させて、ダイナミックモードのAFMによって走査制御する走査型近視野顕微鏡において、光伝搬体プローブ1をグランド電位とし、試料3に交流電圧を印加し、光伝搬体プローブ1の変位検出信号を周波数分離回路24を用いて周波数分離し、表面電位信号を得ると同時に、光伝搬体プローブ1先端の微小開口から近視野光を照射して試料3の光学特性を測定することにより、試料の表面形状、表面電位及び光学特性を同時に測定する。
Claim (excerpt)：
端部に光を透過する透過口を有する光伝搬体からなり、透過口部を除く先端部に導電性の金属膜被覆を有する光伝搬体プローブを有し、前記光伝搬体プローブの先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面との間隔を、前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面との間に原子間力あるいはその他の相互作用に関わる力が作用する動作距離内に近づけた状態で、2次元的な走査手段によって前記試料表面を走査するとともに、制御手段によって前記表面の形状に沿って前記光伝搬体プローブを制御し、前記表面の微小領域に対して、光照射あるいは光検出を行い、試料形状と2次元光学情報を同時に測定する走査型近視野顕微鏡において、前記光伝搬体プローブの先端と前記表面を相対的に垂直方向に振動させる振動手段と、前記光伝搬体プローブの変位を検出する変位検出手段と、前記変位検出手段が出力する検出信号に基づいて前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面の間隔を一定に保つための制御手段と、前記光伝搬体プローブ先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面間に交流電圧を印加する電圧印加手段と、前記印加電圧に起因する前記光伝搬体プローブの振動を除去するように電圧を帰還する電圧帰還手段とを有することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 13/14 ,  G01B 11/24 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 37/00 D ,  G01B 11/24 Z ,  G01B 21/30 Z
F-Term (18)：
2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03 ,  2F065PP24 ,  2F065UU07 ,  2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG15 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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