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J-GLOBAL ID：200903094194126085
モリブデン-タングステン系ターゲット
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997209742
Publication number (International publication number)：1999036067
Application date： Jul. 18, 1997
Publication date： Feb. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 モリブデン-タングステン系ターゲットの抗折力の低下を抑制することを目的とする。【解決手段】 本発明はモリブデンとタングステンを主体としており、組織はモリブデン粒子とタングステン粒子が1.0μm以下の接合をもって焼結したモリブデン-タングステン系ターゲットである。好ましくはその抗折力が750MPa以上であり、また平均結晶粒度は30μm以下が好ましく、密度は相対密度において98%以上が好ましい。
Claim (excerpt)：
モリブデンとタングステンを主体としており、組織はモリブデン粒子とタングステン粒子が1.0μm以下の拡散接合距離をもって焼結したものであることを特徴とするモリブデン-タングステン系ターゲット。
IPC (4)：
C23C 14/34
, C22C 27/04
, G09F 9/35 303
, C22C 1/04
C23C 14/34 A
, C22C 27/04
, G09F 9/35 303
, C22C 1/04 D
