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J-GLOBAL ID：200903094227877863
枠型水晶振動子及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995033429
Publication number (International publication number)：1996228122
Application date： Feb. 22, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 水晶振動子の形状を現状と同様に維持しながら、かつ接着剤、導電性ペーストの硬化時に生じる収縮歪みが起きにくい振動子用ブランクを提供する。【構成】 水晶基板の所定領域に金属マスクを形成した後に、この水晶基板をエッチング液に接触させて前記金属マスクが形成されていない領域をエッチングする。この際、前記水晶基板上での前記振動部の支持領域を含む領域に金属マスクを形成しておき、エッチング加工を終えた後に、金属マスクが形成されている支持領域上に電極部を形成する。
Claim (excerpt)：
水晶基板の所定領域に金属マスクを形成する工程と、この水晶基板をエッチング液に接触させて前記金属マスクが形成されていない領域をエッチングする工程と、を有する枠型水晶振動子の製造方法において、前記水晶基板上の、前記振動部の支持領域を含む領域に金属マスクを形成する工程と、前記金属マスクが形成されていない領域をエッチング加工する工程と、前記金属マスクが形成されている支持領域上に電極部を形成する工程と、を有することを特徴とする枠型水晶振動子の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H03H 3/02 B
, H03H 9/19 A
