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J-GLOBAL ID：200903094260821075
投影露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991237829
Publication number (International publication number)：1993074687
Application date： Sep. 18, 1991
Publication date： Mar. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】照明系と投影レンズマッチングの状態を継続的に確認することにより安定した結像性能を得る。【構成】超高圧水銀灯1,楕円面鏡2,ロッドレンズ群3,アパーチャ4,コンデンサレンズ5から構成される照明系と投影レンズ7とで構成される投影露光装置に於いて、原画面6の任意の一点を通過する光を投影レンズ7の入射瞳面7aと等価位置を2次元光電センサでスキャンすることにより、照明σ,入射瞳上照度分布,照明光軸傾斜を測定可能とし、安定した結像性能が得られる投影露光装置。
Claim (excerpt)：
超高圧水銀灯を光源とし、該光源の輝線スペクトルを使用し、ロッドレンズ群,コンデンサレンズにより原画面を均一に照射する照明光学系及び照明光の可干渉性を変化させる手段としてロッドレンズ群出射側に設けたアパーチャを含む面(二次光源面)を投影レンズ入射瞳面に結像させる露光々学系において、二次光源像の光強度分布及び像の形状寸法を測定する手段を具備し、これらの情報を任意にモニタリング出来る構成としたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
