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J-GLOBAL ID：200903094296236101

レーザ装置

Inventor： 若林 理 ,  有我 達也 ,  五十嵐 徹 ,  坂西 昇一 ,  高橋 知和
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996292631
Publication number (International publication number)：1998144985
Application date： Nov. 05, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】連続パルス発振の全パルスのパルスエネルギーを常に均一にして、光加工の精度をよりいっそう向上させるようにする。【解決手段】レーザ光を所定回数連続してパルス発振させる連続発振動作と、このパルス発振を所定の発振休止時間の間だけ休止する停止動作を交互に実行する運転を1バースト周期とするバーストモード運転を繰り返し行ない、前記パルス発振の各出力エネルギーが所定の目標値に一致するようにレーザの電源電圧を制御するレーザ装置において、各パルスの出力値と目標値との差を各パルス毎に求め、この差が許容限界を超えたパルスに関しては、該パルスのパルス番号および前記計測された発振休止時間に対応する電圧データテーブル手段の記憶電源電圧値を、当該パルス番号および計測された発振休止時間に対応するブロックに設定された前記制御ゲイン設定手段の制御ゲインと前記差とを用いてそれぞれ補正更新する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を所定回数連続してパルス発振させる連続発振動作と、このパルス発振を所定の発振休止時間の間だけ休止する停止動作を交互に実行する運転を1バースト周期とするバーストモード運転を繰り返し行ない、前記パルス発振の各出力エネルギーが所定の目標値範囲内に入るようにレーザの電源電圧を制御するレーザ装置において、1バースト周期内でのパルスの順番を示すパルス番号及び複数の異なる発振休止時間をパラメータとして、前記各パルス発振の出力を前記目標値近傍の所定の許容値内の値とする電源電圧の初期値をそれぞれ予め記憶する電圧データテーブル手段と、複数のパルスが含まれる1バースト周期を複数のブロックに分割し、前記電源電圧データテーブル手段に記憶された電源電圧値を補正する際に用いる制御ゲインをパルス番号が小さなパルスを含むブロックほどその値が小さくなるようにブロック単位に異なる値を設定するとともに、発振休止時間をその時間の大小に対応して複数のブロックに分割し、前記制御ゲインを時間が大きな発振休止時間を含むブロックほどその値が小さくなるようにブロック単位に異なる値を設定する制御ゲイン設定手段と、前記発振休止時間を1バースト周期毎に計測する発振休止時間計測手段と、1バースト周期の度に、前記電源電圧データテーブル手段から前記計測した発振休止時間に対応しかつパルス番号が対応する電源電圧値を読み出し、該読み出した電源電圧値にしたがってパルス発振を行わせる発振制御手段と、連続発振の各パルスの出力をパルス番号に対応付けて順次モニタするモニタ手段と、前記モニタ手段でモニタされた各パルスの出力値と前記目標値との差を各パルス毎に求め、この差が許容限界を超えたパルスに関しては、該パルスのパルス番号および前記計測された発振休止時間に対応する前記電圧データテーブル手段の記憶電源電圧値を、当該パルス番号および前記計測された発振休止時間に対応するブロックに設定された前記制御ゲイン設定手段の制御ゲインと前記差とを用いてそれぞれ補正更新するテーブル補正手段と、を具えるようにしたことを特徴とするガスレーザ装置。