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J-GLOBAL ID:200903094353048457

X線顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993050873
Publication number (International publication number):1994265698
Application date: Mar. 11, 1993
Publication date: Sep. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 試料に照射する励起用輻射線としての紫外線の照射時間およびX線を照射するタイミングを適切にする決定方法および、その決定方法を適用したX線顕微鏡を提供する。【構成】 X線光源としてのSOR光源41と、紫外線光源としての紫外線レーザ光源47と、X線パルスを検出するMCP43等を設ける。紫外線の照射を開始した時点を基準にして(T+3τ)以内にX線を照射するようにX線照射のタイミングを設定し、サンプル45に照射する紫外線の照射時間TをT=3τとする。ただし、τ:励起用輻射線に励起された状態の観察する分子もしくは原子の寿命、T:励起用輻射線の照射時間。
Claim (excerpt):
試料に対し励起用輻射線および軟X線を照射して該試料の透過X線顕微鏡像を撮像するX線顕微鏡において、前記励起用輻射線の照射を開始した時点を基準にして(T+3τ)以内にX線を照射するようにしたことを特徴とするX線顕微鏡。ただし、τ:励起用輻射線に励起された状態の観察する分子もしくは原子の寿命T:励起用輻射線の照射時間

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