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J-GLOBAL ID：200903094360939553

磁気記録媒体基板およびその耐久性試験装置

Inventor： 金子 英雄 ,  中里 泰章 ,  青木 豊文 ,  黒柳 逸夫
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社 ,  長野電子工業株式会社 ,  信越半導体株式会社
Agent (1)： 舘野 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993208459
Publication number (International publication number)：1994195707
Application date： Jul. 31, 1993
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 耐衝撃性のより大きな単結晶性シリコンからなる磁気記録媒体基板の提供とその試験装置の提供。【構成】 本発明の単結晶シリコンからなる磁気記録媒体基板は加工歪みの除去の目的でケミカルエッチングを施したり、円弧状の面取り面を付与することを特徴とするものである。また、その試験装置に関しては、高速回転可能なスピンドルシャフト52上に山型階段状の基板定着部54を設ける。この基板定着部は、直径が異なる複数の円環状定着面56a〜56eを段差部55を介し重層して形成する。磁気記録媒体基板101の固定に当たっては、これを適宜の定着面56a上に載置し、該定着面に適合するキャップ状のディスククランプ60aを、基板定着部54に突設したねじ軸58に挿入したのち、押さえナット70により締め付け、ディスククランプ60aの底面61に装着したプラスチック製パッキン63と定着面56aとで基板101を挟持固定する。

Claim (excerpt)：

単結晶シリコンからなる磁気記録媒体基板において、ドーナツ状の単結晶シリコン基板の外周縁部および中心孔が機械加工により形成された後、ケミカルエッチングを施すことを特徴とする磁気記録媒体基板。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-172220
  
• 特開昭64-067714
  
• 特表昭61-502787