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J-GLOBAL ID：200903094368362891

感光性樹脂組成物

Inventor： 西沢 広 ,  鈴木 健司 ,  萩原 秀雄 ,  小島 康則
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992033324
Publication number (International publication number)：1993232701
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 現像性、厚膜形成性、膜強度、耐熱性及び接着性を合わせ持った感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有すポリイミド【化1】(式中Xは、光によって重合又は二量化する基を有する1価の有機基を表し、R1は4価の有機基を表し、R2は(2+P)価の有機基を表し、R3は2価の有機基を表し、Pは1〜4の整数であり、n/mは、1/99〜100/0(モル比)である)(B)必要に応じて用いる光開始剤及び(C)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有すポリイミド【化1】(式中Xは、光によって重合又は二量化する基を有する1価の有機基を表し、R1は4価の有機基を表し、R2は(2+P)価の有機基を表し、R3は2価の有機基を表し、Pは1〜4の整数であり、n/mは、1/99〜100/0(モル比)である)(B)必要に応じて用いる光開始剤及び(C)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (10)：

G03F 7/038 504 ,  C08F299/02 MRU ,  C08L 79/08 LRC ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28