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J-GLOBAL ID：200903094403224111

X-Yステージ

Inventor： 池田 徹 ,  石田 和司
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994046201
Publication number (International publication number)：1995251341
Application date： Mar. 16, 1994
Publication date： Oct. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造装置及び工作機械の位置決めステージとして用いられるX-Yステージに関し、移動位置精度を向上する。【構成】 ガイドローラ79は、ガイドレール25に当接する第1の外周面76と、第1の外周面76に対して一の方向に傾斜した第1の内周面77と、第1の外周面76に対して他の方向に傾斜した第2の内周面78とを同心円状に成形されてなる環状の外輪75と、軸心に対して一の方向に傾斜した第2の外周面68と、軸心に対して他の方向に傾斜した第3の外周面74とを同心円状に成形されており、第2及び第3の外周面74を外輪75内に挿通される第1及び第2の62,71と、第2の外周面68と第1の内周面77とにより挟持されて転動する複数のボール69と、第3の外周面74と第2の内周面78とにより挟持されて転動する複数のボール69とよりなる。

Claim (excerpt)：

互いに直交するガイドレール(25)と、該ガイドレール(25)に当接するガイドローラ(79)と、該ガイドレール(25)が固着されており、該ガイドローラ(79)が回動して該ガイドレール(25)を案内することで直交する2方向に移動する平板状部材(21)とを具備したX-Yステージにおいて、該ガイドローラ(79)は、該ガイドレール(25)に当接する第1の外周面(76)と、該第1の外周面(76)に対して一の方向に傾斜した第1の内周面(77)と、該第1の外周面(76)に対して他の方向に傾斜した第2の内周面(78)とを同心円状に成形されてなる環状の外輪(75)と、軸心に対して一の方向に傾斜した第2の外周面(68)と、該軸心に対して他の方向に傾斜した第3の外周面(74)とを同心円状に成形されており、該第2及び第3の外周面(74)を該外輪(75)内に挿通される軸(62,71)と、該第2の外周面(68)と該第1の内周面(77)とにより挟持されて転動する複数の第1の球状部材(69)と、該第3の外周面(74)と該第2の内周面(78)とにより挟持されて転動する複数の第2の球状部材(69)とよりなることを特徴とするX-Yステージ。

IPC (4)：

B23Q 1/62 ,  B23Q 1/40 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4)：

B23Q 1/18 A ,  B23Q 1/26 D ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G