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J-GLOBAL ID：200903094406731146
標準試料
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993211159
Publication number (International publication number)：1995063710
Application date： Aug. 26, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、オージェ電子分光分析法や二次イオン質量分析法の分解能を正確に求めることが可能な標準試料を提供することを目的とする。【構成】 本発明の標準試料は、非晶質あるいは多結晶物質からなる層を複数回積層させてなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
非晶質あるいは多結晶物質からなる層を複数回積層させてなることを特徴とする標準試料。
IPC (2)：
G01N 23/22
, G01N 1/00 102
