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J-GLOBAL ID:200903094411248208
ポジ型感光性塗料組成物、ポジ型感光性樹脂の製造方法及びパターン形成方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000093493
Publication number (International publication number):2001281854
Application date: Mar. 30, 2000
Publication date: Oct. 10, 2001
Summary:
【要約】【課題】 性能に優れたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 1分子中に下記一般式(1)で示される変性キノンジアジドスルホンアミドを構造単位とする感光性基を樹脂1kg中に0.1〜0.9molの濃度で含有し、且つ下記一般式(2)で示される構造単位を樹脂1kg中に0.2〜4.0molの濃度で含有するポジ型感光性樹脂、および上記以外の感光性物質を添加剤として上記ポジ型感光性樹脂1kgに対して0.1〜0.9mol含有することを特徴とするポジ型感光性塗料組成物。
Claim (excerpt):
1分子中に下記一般式(1)で示される変性キノンジアジドスルホンアミドを構造単位とする感光性基を樹脂1kg中に0.1〜0.9molの濃度で含有し、且つ下記一般式(2)で示される構造単位を樹脂1kg中に0.2〜4.0molの濃度で含有するポジ型感光性樹脂、および上記以外の感光性物質を添加剤として上記ポジ型感光性樹脂1kgに対して0.1〜0.9mol含有することを特徴とするポジ型感光性塗料組成物。一般式(1)【化1】一般式(2)【化2】(式中R1、R2、R3は同一もしくは異なって水素、直鎖または分枝アルキル基、芳香族、脂環族を表す。Xはアクリル系樹脂残鎖を表す。)
IPC (4):
G03F 7/023 501
, C08F 8/30
, C08F 8/34
, H05K 3/06
FI (5):
G03F 7/023 501
, C08F 8/30
, C08F 8/34
, H05K 3/06 F
, H05K 3/06 H
F-Term (32):
2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025BE02
, 2H025CB22
, 2H025CB43
, 2H025CB52
, 2H025EA03
, 2H025FA17
, 2H025FA40
, 4J100BA11H
, 4J100BA16H
, 4J100BA37H
, 4J100BA38H
, 4J100BA44H
, 4J100BA59H
, 4J100BC49H
, 4J100HA61
, 4J100JA38
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE12
, 5E339CE19
, 5E339CF15
, 5E339CG04
, 5E339DD02
, 5E339DD04
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