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J-GLOBAL ID：200903094432539210

半導体式力学量センサ

Inventor： 堀江 潤一 ,  半沢 恵二 ,  市川 範男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992309992
Publication number (International publication number)：1994163936
Application date： Nov. 19, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】半導体式力学量センサにつき、電極面積,重錘質量の減少を伴わずに応答性の向上を図ること。【構成】少なくとも1つの固定電極と、この固定電極に対向して配置された力学量を検出する重錘と、この重錘を支持するバネ部を有する半導体式の力学量センサにおいて、前記重錘及び重錘に対向する面のいずれか一方の面に、溝を互いに交わらないように設けた半導体式力学量センサ。【効果】重錘表面積の変化,重錘重量の変化,ダンピング定数の変化,製造プロセスの精密化、等を防止できる。

Claim (excerpt)：

力学量を検出する重錘とこの重錘を支持するバネ部を有する半導体式の力学量センサにおいて、前記重錘及び重錘に対向する面のいずれか一方の面に、溝を互いに交わらないように設けたことを特徴とする半導体式力学量センサ。

IPC (2)：

H01L 29/84 ,  G01P 15/02