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J-GLOBAL ID:200903094445928275

電鋳部品の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001313397
Publication number (International publication number):2003119588
Application date: Oct. 11, 2001
Publication date: Apr. 23, 2003
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、電鋳元型の損傷、変形などを無くし、寸法精度が高く、形状不良の少ない、信頼性の高い微細な形状を有する電鋳部品を提供することを目的とする。【解決手段】 導電性を有する基板上に塗被された感光不溶性材料の一部分を紫外線で露光し、該感光不溶性材料の紫外線で露光されていない未露光部分のみを溶解除去することによって電鋳元型を作製する工程と、電鋳元型の表面に紫外線を照射してUVオゾン処理を行う工程と、UVオゾン処理された電鋳元型上に電鋳法によって電鋳部品を形成する工程とを有している。
Claim (excerpt):
導電性を有する基板上に塗被された感光不溶性材料の一部分を露光し、該感光不溶性材料の露光されていない未露光部分のみを溶解除去することによって電鋳元型を作製する工程と、前記電鋳元型の表面に紫外線を照射してUVオゾン処理を行う電鋳前処理工程と、UVオゾン処理された前記電鋳元型上に電鋳処理を施して電鋳部品を形成する電鋳工程とを有する電鋳部品の製造方法。
IPC (4):
C25D 1/10 ,  C23G 3/00 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304
FI (4):
C25D 1/10 ,  C23G 3/00 Z ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/304 645 Z
F-Term (5):
4K053QA04 ,  4K053QA07 ,  4K053RA03 ,  4K053SA01 ,  4K053ZA04

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