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J-GLOBAL ID：200903094456546935

静電アクチュエータ

Inventor： 松崎 一成 ,  松田 広志 ,  中村 高幸 ,  小野 淳一
Applicant, Patent owner： 株式会社安川電機
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994186315
Publication number (International publication number)：1996033361
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】複雑な配線や駆動回路を必要としない簡単な直流電源で駆動できる小型のアクチュエータを得る。【構成】一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の突起11を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極12を有する二つの固定子1,2 を、空隙を持って対向させ、かつ、移動方向にピッチλ/2ずらした固定子対と、この固定子対の空隙内に設けられ二つの固定子とそれぞれ対向する面に固定子電極と同一形状の突起31が両面に対称に設けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極32を設けた移動子3 とを備え、固定子または移動子の少なくとも一方の接触面に絶縁膜13,23を設けた構成にしている。

Claim (excerpt)：

一側面にピッチλで設けられた鋸歯状の突起を有しその少なくとも表面に連続した固定子電極を有する二つの固定子を、空隙を持って対向させ、かつ、移動方向にピッチλ/2ずらした固定子対と、前記固定子対の空隙内に設けられ前記二つの固定子とそれぞれ対向する面に前記固定子と同一形状の突起が両面に対称に設けられ、少なくともその表面に連続した移動子電極を設けた移動子とを備え、前記固定子または移動子の少なくとも一方の接触面に絶縁膜を設けたことを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (2)：

H02N 1/00 ,  H02N 11/00