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J-GLOBAL ID：200903094471450332

金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法

Inventor：
広瀬 義幸

About 広瀬 義幸

, 
築野 孝

About 築野 孝


Applicant, Patent owner：
住友電気工業株式会社

About 住友電気工業株式会社


Agent (1)： 酒井 正己 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002154384
Publication number (International publication number)：2003342088
Application date： May. 28, 2002
Publication date： Dec. 03, 2003
Summary：
【要約】【課題】 窒化アルミニウムと金属化層との接合強度が高く、金属化層内にクラックのない金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体を提供すること。【解決手段】 表面及び/または内部に金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体において、前記金属化層を、導体高融点金属であるWと、Al2O3、SiO2及びMgOから選ばれる少なくとも1種類以上からなるマッチング用無機物とから構成する。前記マッチング用無機物の平均粒径を0.3μm以上、5μm以下とし、また、マッチング用無機物の材料をスピネル又は前記酸化物の混合体を融点以上でガラス化した後に粉砕した無機物粉末を使用することで、より金属化層と窒化アルミニウムとの接合強度を高めることができる。
Claim (excerpt)：
表面及び/または内部に金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体において、前記金属化層は導体高融点金属とマッチング用無機物からなり、前記導体高融点金属はWであり、前記マッチング用無機物の平均粒径が0.3μm以上、5μm以下であることを特徴とする金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体。
IPC (5)：
C04B 41/88 ,  C04B 35/581 ,  C04B 35/64 ,  H01L 23/13 ,  H01L 23/14
FI (5)：
C04B 41/88 Q ,  C04B 35/58 104 Z ,  C04B 35/64 G ,  H01L 23/12 C ,  H01L 23/14 M
F-Term (13)：
4G001BA03 ,  4G001BA04 ,  4G001BA06 ,  4G001BA36 ,  4G001BA61 ,  4G001BB03 ,  4G001BB04 ,  4G001BB06 ,  4G001BB36 ,  4G001BB61 ,  4G001BD03 ,  4G001BD23 ,  4G001BE31
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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