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J-GLOBAL ID：200903094487058831

半導体試験装置の自己診断装置及び自己診断方法

Inventor： 浅 野 義 博
Applicant, Patent owner： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996306545
Publication number (International publication number)：1998148656
Application date： Nov. 18, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 自己診断プログラムの実行時間を短縮し、試験項目の選択をする必要をなくしてオペレーションを簡易化し、作業効率を向上させる。【解決手段】 各半導体試験装置8はネットワーク7を介してホストコンピュータ6に接続されている。半導体試験装置8は、自己診断プログラムを実行し半導体装置を試験し、自己診断結果/フェイル情報をホストコンピュータ6へ転送したり、ホストコンピュータ6から所定のデータを受信する等の動作を行う。ホストコンピュータ6は、半導体試験装置8から転送された自己診断結果/フェイル情報を取り込み統計処理し、「自己診断履歴ファイル」を作成する。また、ホストコンピュータ6には、「試験項目削除パラメータ」があらかじめ登録されており、このパラメータと「自己診断履歴ファイル」を参照して「簡易自己診断プログラム」を自動生成し、「簡易自己診断プログラム」および「通常自己診断プログラム」を半導体試験装置8へ転送する。半導体試験装置8は、必要に応じて簡易自己診断を実行することができる。

Claim (excerpt)：

半導体試験装置の自己診断を行うための複数の試験項目を記憶した通常処理記憶手段と、前記通常処理記憶手段に記憶された前記試験項目により試験を実行する通常診断手段と、前記通常診断手段による試験結果を集計することにより作成された履歴情報を記憶した履歴記憶手段と、前記複数の試験項目毎に所定設定値が記憶された設定値記憶手段と、前記通常処理記憶手段中の前記複数の試験項目のうちの特定試験項目のみを記憶した簡易処理記憶手段と、前記履歴記憶手段に記憶された前記履歴情報と前記設定値記憶手段に設定された前記所定設定値とに基づいて、前記特定試験項目を選択して前記簡易処理記憶手段を作成する作成手段と、前記簡易処理記憶手段に記憶された前記特定試験項目により試験を実行する簡易診断手段とを備えた半導体試験装置の自己診断装置。

IPC (3)：

G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 H