Pat
J-GLOBAL ID：200903094497669065
2自由度振動型マイクロアクチュエータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
工業技術院計量研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993078915
Publication number (International publication number)：1994269186
Application date： Mar. 12, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 電圧印加等により駆動する駆動部分と可動部分を分離して、2自由度の振動系を構成させることにより、電極間隔を狭くして低電圧駆動を可能にすると同時に、可動部分の可動範囲を確保して大振幅を得られるようにした2自由度振動型マイクロアクチュエータを提供する。【構成】 周期的外力が与えられる駆動板(電極板23)を、第1の弾性連結部材(トーションバー22)を介して固定部21で支持させ、上記駆動板に第2の弾性連結部材(トーションバー24)を介して可動板25を弾性的に結合する。これにより、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材において弾性的に変位する2自由度の振動系を形成させる。
Claim (excerpt)：
周期的外力が与えられる駆動板を、第1の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持させ、上記駆動板に第2の弾性連結部材を介して可動板を弾性的に結合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材において弾性的に変位する2自由度の振動系を形成させたことを特徴とする2自由度振動型マイクロアクチュエータ。
IPC (3)：
H02N 11/00
, G01N 5/02
, G02B 26/10 104
