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J-GLOBAL ID：200903094500919248
マイクロダイナミック光スイッチ、2×2光スイッチ、及び光信号をスイッチングする方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
生沼 徳二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993094755
Publication number (International publication number)：1994075176
Application date： Apr. 22, 1993
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高い温度で効率的に動作することのできる堅固な光スイッチを提供する。【構成】 マイクロダイナミック光スイッチ100は、基板102上に設けられている圧電アクチュエータ120と、アクチュエータに機械的に確実に結合されているミラー154と、入力接続ポート105と、複数の出力接続ポート110とを含んでいる。アクチュエータはミラーをミラー変位経路156に沿って変位させ、入射光の経路に対して45 ゚の角度で方向付けられているミラーは、入力接続ポートからの光を出力接続ポートに偏向させる。アクチュエータは、曲がりくねった曲線状構造に互いに直列に機械的に結合されている複数の圧電バー124を含んでおり、圧電バーの撓みの累積を用いてミラーを変位させる。アクチュエータの変位量は、圧電バーの各々の両端に電圧を印加する制御可能な電圧源130によって制御される。
Claim (excerpt)：
基板と、該基板上に設けられている圧電アクチュエータと、該圧電アクチュエータに機械的に結合されていると共に、該圧電アクチュエータの撓みに対応してミラー変位経路に沿って移動するように設けられているミラーと、少なくとも1つの光学入力接続ポートと、複数の光学出力接続ポートとを備えており、前記少なくとも1つの入力接続ポートと、前記複数の出力接続ポートとは、前記入力接続ポートからの光が前記ミラー変位経路に沿った前記ミラーの位置に応じて選択された出力接続ポートに選択的に向けられるように設けられているマイクロダイナミック光スイッチ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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