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J-GLOBAL ID：200903094508193386

アクチュエータ、ギャップ測定装置、非接触倣い装置、6自由度テーブル駆動装置、露光装置、及びデバイスの製造方法

Inventor： 菊地 俊秀
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001029952
Publication number (International publication number)：2002238235
Application date： Feb. 06, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 小型で特性変化の無いアクチュエータを提供する。【解決手段】 非磁性体からなる板状体1の両側には磁性体からなる板状体2a、2bが非磁性体のボルト3により取り付けられている。そして、各板状体2a、2bに対面するように、E型電磁石4a、4bがそれぞれ設けられている。E型電磁石4a、4bが共通のベースに取り付けられているとき、これらのコイルに流す電流を調節することにより、E型電磁石4a、4bと非磁性体からなる板状体1との相対位置関係を変えることができる。よって、1次元アクチュエータとして使用することができる。

Claim (excerpt)：

非磁性体からなる板状体の両側に磁性体からなる板状体を取り付けた部材と、共通のベースに取り付けられた1対のE型電磁石とを有してなり、当該E型電磁石は、それぞれ前記磁性体からなる板状体に対面するように設けられていることを特徴とする1次元アクチュエータ。

IPC (6)：

H02K 33/16 ,  G01B 7/14 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02K 33/12

FI (6)：

H02K 33/16 A ,  G01B 7/14 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H02K 33/12 ,  H01L 21/30 503 A

F-Term (31)：

2F063AA23 ,  2F063BB03 ,  2F063BC05 ,  2F063CA21 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DC08 ,  2F063GA52 ,  2F063KA05 ,  2F063NA06 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031LA04 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H633BB08 ,  5H633BB20 ,  5H633GG03 ,  5H633GG04 ,  5H633GG05 ,  5H633GG09 ,  5H633GG13 ,  5H633GG17 ,  5H633GG23 ,  5H633GG24 ,  5H633HH16 ,  5H633HH18