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J-GLOBAL ID：200903094522549398

シートプラズマ装置

Inventor： 酒見 俊之
Applicant, Patent owner： 住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994092386
Publication number (International publication number)：1995296988
Application date： Apr. 28, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 シート状プラズマを用いてスパッタリングを行う際、電流ロスを少なくし、シート状プラズマを安定に生成することである。【構成】 陰極から放出される円柱状プラズマをシートプラズマにするシートプラズマ成形室と、この成形室からのシート状プラズマによってスパッタリングを行うスパッタリング室とを互いに異なる電位に維持すると共に、両者を互いに電気的に絶縁した構成を有している。

Claim (excerpt)：

陰極、陽極を備えると共に、前記陰極及び陽極間に、シートプラズマを生成するシートプラズマ成形室と、該シートプラズマ成形室に連結された表面処理室とを備え、両シートプラズマ成形室と表面処理室とは、互いに異なる電位となるように、構成されていることを特徴とするシートプラズマ装置。