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J-GLOBAL ID：200903094539618725

マイクロブリッジ形状を有する薄膜素子

Inventor： 秋山 善一
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー ,  リコーエレメックス株式会社 ,  リコー精器株式会社
Agent (1)： 友松 英爾 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993350513
Publication number (International publication number)：1995201511
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 第1の目的は、マイクロブリッジ形態を有する薄膜素子に於いて、ブリッジ形成にデザイン、及びブリッジ面積に制約を与えず、素子特性の向上を実現、第2の目的は、薄膜素子の作製に伴って形成される基板の孔をふさぎ、該素子の接合工程の改良を画るものである。【構成】 基板上に誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子を有し、かつ基板が部分的に除去され、前記誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜が1個または複数個のマイクロブリッジを形成した薄膜素子において、基板がSiO2を主成分とした感光性ガラスであることを特徴とする薄膜素子。

Claim (excerpt)：

基板上に誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜素子を有し、かつ基板が部分的に除去され、前記誘電体膜および該誘電体膜上に形成された機能性薄膜が1個または複数個のマイクロブリッジを形成した薄膜素子において、基板がSiO2を主成分とした感光性ガラスであることを特徴とする薄膜素子。

IPC (4)：

H01C 7/00 ,  G01F 1/68 ,  G01P 5/10 ,  H01C 1/012