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J-GLOBAL ID：200903094581800460

欠陥検査装置

Inventor： 斎藤 憲敬 ,  布施 正樹
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Agent (1)： 二瓶 正敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994207954
Publication number (International publication number)：1996054352
Application date： Aug. 09, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 固体撮像素子の出力を2値化するためのしきい値を決定するときに用いられる画像データに欠陥部分が多少含まれていても、しきい値を適切に設定することができる欠陥検査装置を提供する。【構成】 正常部分の多い物体表面の一次元画像を読み取って得られる、番号iのCCD素子e(i)の基準データをD(i)で表わし、しきい値計算用データをR1(i)、R2(i)で表わす。i=1,...,kのR1(i)及びi=N-k+1,...,NのR2(i)は番号iが同じであるD(i)に等しい。D(i)とR1(i-k)の差に応じて、R1(i-k)で決められるデータ領域からi=k+1,...,NのR1(i)が順次定められる。また、D(i)とR2(i+k)の差に応じて、R2(i+k)で決められるデータ領域からi=N-k+1,...,NのR2(i)が順次定められる。しきい値はR1(i)及びR2(i)の両方又はいずれか一方に基づき決められる。

Claim (excerpt)：

複数の固体撮像素子を有し、被検査物の表面を走査して、走査ラインにおける一次元画像を読み取り、前記固体撮像素子の各々からアナログ信号を出力するラインイメージセンサと、前記アナログ信号のレベルを前記固体撮像素子ごとに設けられたしきい値と比較して2値化することにより前記被検査物の表面の欠陥を検出する2値化手段とを有する欠陥検査装置において、前記しきい値を決定する過程で、欠陥部分に比べて正常部分の多い物体表面の一次元画像を読み取って得られる、前記しきい値を決定するための第1次基準データのうち前記固体撮像素子の少なくとも一つを含む第1集合の固体撮像素子の第1次基準データ、又は当該第1次基準データに演算を施して得られる演算結果が、当該固体撮像素子以外の固体撮像素子の第1次基準データによって決められる比較用データと比べてどの程度大きいか小さいかに応じて、当該比較用データによって決められるデータ領域のどのデータを前記しきい値を決定するための第2次基準データとするかを決め、前記第1集合の固体撮像素子ごとに前記第2次基準データを作成する第1作成手段と、前記第1集合と互いに素である第2集合の固体撮像素子の第1次基準データ、又は当該第1次基準データに演算を施して得られる演算結果が、前記第2次基準データが既に求められた固体撮像素子の第2次基準データによって決められる比較用データと比べてどの程度大きいか小さいかに応じて、当該比較用データによって決められるデータ領域のどのデータを前記第2集合の固体撮像素子の第2次基準データとするかを決め、当該第2次基準データを作成する第2作成手段と、前記第2作成手段を繰り返し用いて、前記第2集合の固体撮像素子ごとに順次、第2次基準データを求める第1繰り返し手段とを、有することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 5/00

FI (2)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/68 320 Z