Pat

J-GLOBAL ID：200903094602974928

感光性樹脂組成物

Inventor： 栗 崎 穂 ,  原 田 隆 正 ,  工 藤 隆 範 ,  武 田 貴 志 ,  福 澤 純 一
Applicant, Patent owner： クラリアント ジャパン 株式会社
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998371083
Publication number (International publication number)：2000194130
Application date： Dec. 25, 1998
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 透明性が高く、コントラストの高いパターンを得ることができる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 下記の成分を含んでなることを特徴とする感光性樹脂組成物。(1)1,2-ナフトキノンジアジド骨格と2つ以上のフェノールメチル置換誘導体からなるメチレン架橋体を構造中に有する感光剤、(2)水酸基とカルボキシル基を有するポリマー、または、水酸基を有するポリマーとカルボキシル基を有するポリマーの組み合わせ、(3)水酸基とカルボキシル基を架橋することのできる架橋剤、および(4)溶剤。

Claim (excerpt)：

下記の成分を含んでなることを特徴とする感光性樹脂組成物。(1)1,2-ナフトキノンジアジド骨格と2つ以上のフェノールメチル置換誘導体からなるメチレン架橋体を構造中に有する感光剤、(2)水酸基とカルボキシル基を有するポリマー、または、水酸基を有するポリマーとカルボキシル基を有するポリマーの組み合わせ、(3)水酸基とカルボキシル基を架橋することのできる架橋剤、および(4)溶剤。

IPC (8)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/41 ,  C08L 25/18 ,  C08L 33/04 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/41 ,  C08L 25/18 ,  C08L 33/04 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (38)：

2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002AA05W ,  4J002AA06X ,  4J002BC12W ,  4J002BE02W ,  4J002BG01X ,  4J002BG07W ,  4J002BH00X ,  4J002CD06Y ,  4J002EL027 ,  4J002EN027 ,  4J002EN037 ,  4J002EN077 ,  4J002EU197 ,  4J002EV216 ,  4J002FD14Y ,  4J002FD147 ,  4J002FD206 ,  4J002GJ02 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ00