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J-GLOBAL ID：200903094615790389

局所的光電子検出装置

Inventor： 山本 琢磨 ,  中桐 伸行 ,  藤崎 久雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993226194
Publication number (International publication number)：1995083859
Application date： Sep. 10, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】高い空間分解能かつ高いS/N比で局所的な光電子検出を行うことのできる検出装置を提供する。【構成】探針の周囲に探針とは別の補助電極を設け、この補助電極を探針の周囲に入射する光電子を遮蔽する手段として構成した。試料4からの光電子を受容する探針1と、探針1の周囲に設けられた補助電極3と、試料4に対して探針1と補助電極3とを相対的に移動させる移動手段50と、探針1と試料4との間及び補助電極3と試料4との間に各々電圧を印加する電圧印加手段60と、探針1の受容する試料4からの光電子により探針1と試料4との間に流れる電流を検出する電流検出手段70と、電流検出手段7により検出された電流の情報を表示する表示手段80とを有する。

Claim (excerpt)：

試料からの光電子を受容する探針と、該探針の周囲に設けられた補助電極部材と、前記探針と前記補助電極とをを試料に対して相対的に移動させる移動手段と、前記探針と前記試料との間及び前記補助電極と前記試料との間に各々電圧を印加する電圧印加手段と、前記探針の受容する光電子により該探針と前記試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段により検出された電流の情報を表示する表示手段とを有することを特徴とする局所的光電子検出装置。