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J-GLOBAL ID：200903094634036628
紫外線照射装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992195706
Publication number (International publication number)：1994045229
Application date： Jul. 23, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 紫外域の光による光学部材の曇りを防止する。【構成】 照明光学系7の光学部材は遮蔽部8、9、10により外部から遮蔽されている。遮蔽部の金属製の壁面に誘電体14を設けることより、浮遊物のイオン化を防止するとともに、帯電によりイオン物質を吸着する。誘電体14を設けることにより、紫外域の光の照射により発生するイオン物質の付着による光学部材の曇りを低減する。
Claim (excerpt)：
紫外域の光を射出する光源と被照射物に前記紫外光を照射する光学系と前記光学系の光路をはずれる前記紫外域の光を遮光する金属性の壁面を備えた遮蔽部とを有する紫外線照射装置において、前記壁面に前記紫外域の光に対して耐性を有する誘電体を設けたことを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
