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J-GLOBAL ID：200903094669493665
原子間力顕微鏡およびその制御方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991180864
Publication number (International publication number)：1993026645
Application date： Jul. 22, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡に関し、特に、溝形状等の垂直に近い壁面を有する試料を安定に精度良く測定できるようにする。【構成】 レーザー7と4分割フォトダイオード9で構成した光てこによりカンチレバー6のねじれとたわみを検出し、フィードバック信号発生回路10、11により、各々が一定値になるように制御しながら走査を行い、各制御電圧の合計をコンピュータ13により画像化する。
Claim (excerpt)：
カンチレバーのねじれとたわみを検出し、前記ねじれを一定の設定値に保ちながら走査することを特徴とする原子間力顕微鏡の制御方法。
IPC (2)：
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