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J-GLOBAL ID：200903094670543404

ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物

Inventor： 中山 寛晴 ,  仁平 貴康 ,  袋 裕善
Applicant, Patent owner： 日産化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001095163
Publication number (International publication number)：2001343747
Application date： Mar. 29, 2001
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ水溶液での現像が可能、かつ感度、現像性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 一般式(1)で表される溶媒可溶性ポリイミドと、カルボン酸もしくはカルボン酸誘導体と、感光性オルトキノンジアジド化合物とを含有することを特徴とするポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。【化1】(式中繰り返し単位aは3以上10000以下の整数であり、一般式中R1の1〜100モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有する2価の有機基であり、0〜99モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基を有さない2価の有機基であり、R2は4価の有機基である。)

Claim (excerpt)：

一般式(1)【化1】(式中繰り返し単位aは3以上10000以下の整数であり、一般式中R1の1〜100モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有する2価の有機基であり、99〜0モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基を有さない2価の有機基であり、R2は4価の有機基である。)で表される繰り返し単位を有する溶媒可溶性ポリイミド樹脂および一般式(2)【化2】(ただし式中bとcは0もしくは1以上でかつb+c≧1を満足する整数であり、R3は(b+2c)価の有機基である。)で表された少なくとも一つのカルボン酸もしくはカルボン酸誘導体を含有し、かつ感光性オルトキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/28 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/28 ,  C08L 79/08 Z ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (86)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002EF036 ,  4J002EF066 ,  4J002EF076 ,  4J002EF096 ,  4J002EF106 ,  4J002EF116 ,  4J002EF126 ,  4J002EL136 ,  4J002EL146 ,  4J002EQ037 ,  4J002EV247 ,  4J002GP03 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PC066 ,  4J043PC186 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SA82 ,  4J043SA83 ,  4J043SA85 ,  4J043SB01 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TA70 ,  4J043TA71 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA082 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA071 ,  4J043VA081 ,  4J043XA16 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA15 ,  4J043ZA16 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22