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J-GLOBAL ID：200903094677629410
セラミックヒータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊藤 求馬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994200236
Publication number (International publication number)：1996045648
Application date： Aug. 02, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 高温での抵抗値変化が小さく、クラックの生じないセラミックヒータを得ることを目的とする。【構成】 セラミックヒータ1は電気絶縁性の支持体3と、その先端部に一体に形成される導電性の発熱体2を有する。支持体3と発熱体2はいずれも導電性のMoSi2 と絶縁性のSi3 N4 の混合焼結体よりなり、支持体3はMoSi2粒子がこれを包むSi3 N4 粒子で互いに分断されて絶縁性を示し、上記発熱体2は、互いに連続するMoSi2 粒子でSi3 N4 を包むことにより導電性を示す。支持体3および発熱体2には、焼結助剤としてY2 O3 またはYb2 O3 等の希土類元素の酸化物とAl2 O3 を添加してあり、支持体3のY2 O3 またはYb2 O3 添加量を発熱体2より多くすることで、通電の繰り返しによる抵抗値変化を抑制する。また発熱体2のAl2 O3 添加量を支持体3よりも多くすることで、クラックの発生を防止する。
Claim (excerpt)：
電気絶縁性の支持体と、その先端部に一体に形成される導電性の発熱体を備え、上記支持体および上記発熱体はいずれも導電性セラミックと絶縁性セラミックの混合焼結体よりなり、上記支持体は、導電性セラミック粒子がこれを包む絶縁性セラミック粒子により互いに分断されることにより絶縁性を示し、上記発熱体は、互いに連続する導電性セラミック粒子で絶縁性セラミック粒子を包むことにより導電性を示すセラミックヒータにおいて、上記発熱体に焼結助剤として少なくとも酸化アルミニウムを添加し、上記支持体に焼結助剤として少なくとも希土類元素の酸化物と、酸化アルミニウムとを添加するとともに、上記発熱体の酸化アルミニウム添加量を上記支持体の酸化アルミニウム添加量よりも多くしたことを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (3)：
H05B 3/14
, C04B 35/584
, F23Q 7/00
