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J-GLOBAL ID：200903094678977870

複合酸化物薄膜及びその製造方法

Inventor：
神戸 由美

About 神戸 由美

, 
伊佐治 雅久

About 伊佐治 雅久


Applicant, Patent owner：
東海ゴム工業株式会社

About 東海ゴム工業株式会社


Agent (1)： 大家 邦久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996277825
Publication number (International publication number)：1998120499
Application date： Oct. 21, 1996
Publication date： May. 12, 1998
Summary：
【要約】【解決課題】 水熱合成法により特性の安定した複合酸化物薄膜を製造する方法、及びその方法による特性の安定した複合酸化物薄膜の提供。【解決手段】 基板上に水熱合成法により形成した複合酸化物薄膜の多孔質部分及びピンホールに絶縁材料を埋め込む処理を施すか、またはピンホール部分の金属を酸化して絶縁性とする処理を施すことを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法、及びその方法により得られる複合酸化物薄膜。
Claim (excerpt)：
基板上に水熱合成法により形成した複合酸化物薄膜の多孔性面またはピンホールに封孔処理を施すことを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法。
IPC (5)：
C30B 33/00 ,  C01B 13/14 ,  C04B 41/89 ,  C30B 29/22 ,  H01B 3/00
FI (5)：
C30B 33/00 ,  C01B 13/14 Z ,  C04B 41/89 A ,  C30B 29/22 Z ,  H01B 3/00 F
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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